
Использование высококачественной нержавеющей стали и прецизионной обработки обеспечивает плоскостность и чистоту поверхности фланца.
Марка материала: SUS304/SUS316L (опционально)
Наименование продукции: Фланец вытяжки воздуха для компонентов фотоэлектрического оборудования
Стандарты исполнения: Специальные технические нормы для соответствующего вакуумного оборудования
Механические характеристики: Обладает хорошей пластичностью и низкотемпературной вязкостью; поверхность гладкая, соответствует требованиям вакуумной герметизации.
Вакуумные трубопроводные соединения для производственного оборудования фотоэлектрических кремниевых и тонкопленочных элементов (такого как PECVD, LPCVD, диффузионные печи)
Интерфейсы вакуумных систем для ламинаторов компонентов и другого инкапсуляционного оборудования
Газотранспортные и вакуумные системные соединения в чистых помещениях электронной промышленности, такой как полупроводниковая и производство жидкокристаллических панелей
Надежная вакуумная герметизация и структурная прочность: Использование высококачественной нержавеющей стали и прецизионной обработки обеспечивает плоскостность и чистоту поверхности фланца, в сочетании со стандартной конструкцией уплотнительных канавок (таких как канавки для O-колец), позволяет достичь высокой надежности статической вакуумной герметизации и гарантировать структурную прочность трубопроводных соединений.
Превосходная чистота окружающей среды и коррозионная стойкость: Материал обладает выдающейся коррозионной стойкостью (особенно 316L для сред с галогенными газами), поверхность может подвергаться электрополировке или пассивации, эффективно снижая газовыделение с поверхности и адсорбцию частиц, соответствуя строгим требованиям фотоэлектрической и электронной отраслей к высокой чистоте и стойкости к коррозии технологическими средами.
Стандартизированные интерфейсы и удобство монтажа: Соответствие общепринятым стандартам на фланцы (таким как HG, GB, ISO), высокая взаимозаменяемость интерфейсов, удобство быстрого и надежного соединения с различными вакуумными насосами, клапанами и камерами, упрощает процессы проектирования и обслуживания системы, повышая эффективность интеграции оборудования.